канд. техн. наук, н., с. н. с., ФГБУН «Институт проблем проектирования в микроэлектронике Российской академии наук», 124365, Российская Федерация, г. Москва, Зеленоград, Советская ул., 3
Candidate of Engineering Sciences, senior research scientist, Institute for design problems in microelectronics of Russian Academy of Sciences, 124365, Russian Federation, Moscow, Zelenograd, Sovetskaya Street, 3